微焦點(diǎn)X射線源（Microfocus X-ray source）,簡稱MFX，是指焦點(diǎn)尺寸小于20微米的X射線源。

  在X光檢測設(shè)備中，從微焦點(diǎn)X射線源射出的X射線通過樣品，之后由X射線平板探測器進(jìn)行成像。由于X射線對(duì)于樣品內(nèi)不同結(jié)構(gòu)、材料穿透能力的不同，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)就可以被X射線平板探測器所采集并在電腦上呈現(xiàn)。

  根據(jù)密封方式的不一樣，微焦點(diǎn)X射線源分為開放管和封閉管兩種。封閉管的微焦點(diǎn)X射線源中，陰極靶與陽極靶都封閉在真空管內(nèi)；使用時(shí)無需抽真空，無需維護(hù)，但也無法更換陰極靶和陽極靶。開放管的微焦點(diǎn)X射線源則帶有真空泵、真空閥，像排氣設(shè)備一樣。陰極靶和陽極靶都可以更換，需要定期進(jìn)行更換維護(hù)。

  相對(duì)于封閉管的微焦點(diǎn)X射線源，開放管的微焦點(diǎn)X射線源的焦點(diǎn)尺寸和FOD都普遍較小，但是需要維護(hù)且造價(jià)高昂。工業(yè)無損檢測上目前均使用封閉管的微焦點(diǎn)X射線源，只有在對(duì)成像效果要求更苛刻的科研X射線成像中才會(huì)采用更加昂貴的開放管的微焦點(diǎn)X射線。

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