在X射線源中，主要是通過電子轟擊靶材料來產生X射線，具體的原理有兩種：

  1）當高速電子與靶原子發(fā)生碰撞時，會改變其原有的軌跡，并且慢下來，同時發(fā)出X射線，其能量等于高速電子碰撞前后的能量差。

  由于每個高速電子與靶原子作用時的相對位置不同，所以各相互作用對應的輻射損失也不同，因而發(fā)出的X 射線光子的能量也互不相同。大量的X射線光子組成了具有頻率連續(xù)的X 射線發(fā)射譜——就像各種顏色的單色光混合而成白光一樣。所以，這種原理所產生X射線稱為白色X射線（也稱連續(xù)譜）。

  2）高速電子將靶原子的內層軌道電子撞出，使之離開原子成為自由電子，便會在內層軌道產生一個臨時的電子空位，外層的電子就會立即將這個內層軌道空位填充。軌道電子從外層向內層躍遷的同時會發(fā)出X射線，其能量就等于這兩個軌道能級之差。

  由于靶原子的各軌道電子能級是確定的，所以產生的X射線能量也是固定的，并且僅取決于靶原子本身的特征；所以，通過這種原理產生的X射線也稱為標識X射線（也稱標識譜）。

  任何一種靶材料都會同時產生白色X射線和標識X射線。在Xray檢測應用中，樣品本身各種材質都有，所以一般會選擇產生白色X射線較多的鎢靶。而在用于分析物質成份的X射線熒光分析應用中，則更多會選擇比較容易產生標識X射線的鉬靶。

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