專為IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)計
適用于各種類型IC半導(dǎo)體
檢測的X-RAY檢測設(shè)備

高度定制化方案針對性解決需求
微米級精確運(yùn)動控制、自動定位
缺陷自動識別、MES系統(tǒng)對接
在線高速全自動檢測
檢測時間 < 1s/FOV

高光子效率脈沖式碳納米管
一體化X射線源+高速
掃描探測器絕佳組合
定制化軟件功能 可應(yīng)用
于多個領(lǐng)域
