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新一代X射線成像系統(tǒng)
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在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT

專為IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而設(shè)計(jì)的X-RAY在線式微焦點(diǎn)
CT檢測設(shè)備，得益于高精度高亮度碳納米管
微焦點(diǎn)X光管的特性，系統(tǒng)能夠在不破壞樣品
前提下快速獲取樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)與圖像的
三維信息。
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在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備
在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備
在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備

專為IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)

適用于各種類型IC半導(dǎo)體芯片
檢測的X-RAY檢測設(shè)備

在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備

在線DR/CT檢測滿足不同需求

壓縮感知迭代算法提升檢測速度
最大檢測樣品尺寸600x1200mm
實(shí)現(xiàn)超高速的特定區(qū)域的3D掃描
與CT重建（小于2s）

在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備

碳納米管CT球管X射線源

高精度高亮度的特性微焦點(diǎn)
X光管 最優(yōu)焦點(diǎn)達(dá)2μm
系統(tǒng)能夠快速獲取樣品
內(nèi)部的三維結(jié)構(gòu)信息

在線式IC半導(dǎo)體 X-RAY 微焦點(diǎn)CT檢測設(shè)備
應(yīng)用案例&檢測效果
暫無數(shù)據(jù)
規(guī)格參數(shù)
  • 系統(tǒng)參數(shù)
  • X射線源
  • 探測器
系統(tǒng)參數(shù) 灰度等級(jí) 14/16bits
標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸 2500x2500x1800mm
整體重量 2900kg
系統(tǒng)夾持范圍 50 ~ 600mm
X射線源 工作電壓 90~150KV
工作電流 10~150μA
焦點(diǎn)尺寸 3~15μm 可選
光管類型 閉管
探測器 探測器類型 數(shù)字平板探測器
像素尺寸 49.5μm 可選配更高級(jí)別
像素?cái)?shù)量 2304x2940 可選配更高級(jí)別
成像面積 114x146mm 可選配更高級(jí)別
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